全自動掃描電鏡是一種顯微分析儀器，依靠電子槍發射電子束，常見的電子源有鎢絲或場發射源。電子束經加速電壓加速后，獲得較高能量，再通過電磁透鏡組成的光學系統進行聚焦，形成直徑小、能量高的電子束。廣泛應用于材料科學、生物醫藥、工業質量控制等多個領域。可用于觀察金屬、陶瓷、塑料、纖維等傳統材料，也能處理生物樣品、納米材料等特殊樣品。
樣品表面掃描：聚焦后的電子束在掃描發生器控制下，于樣品表面按一定規律進行光柵式掃描。掃描過程中，電子束與樣品相互作用，激發出多種物理信號，如二次電子、背散射電子等。
信號收集處理：探測器負責收集電子束與樣品作用產生的各種物理信號，將其轉換為電信號后，經放大系統增強，傳輸至顯示系統。經過一系列處理，生成反映樣品表面特征的圖像。
圖像顯示分析：處理后的信號在顯示設備上呈現為清晰的掃描圖像。操作人員可根據需求對圖像進一步分析處理，從而獲取樣品的微觀結構和成分信息。
全自動掃描電鏡(SEM)的使用注意事項：
-調焦注意：調焦時避免物鏡碰到試樣，以防劃傷物鏡。當載物臺墊片圓孔中心遠離物鏡中心時，不要切換物鏡，以免損傷鏡頭。
-亮度調整：亮度調整要適中，切忌忽大忽小或過亮，以免影響燈泡使用壽命和視力。
-非專業人員勿動：非專業人員不要隨意調整顯微鏡照明系統(如燈絲位置)，以免影響成像質量。
-更換鹵素燈注意：更換鹵素燈時要注意高溫，避免灼傷；不要用手直接接觸鹵素燈的玻璃體。
-關機前準備：關機前要將亮度調小，并按照正確的順序關閉電源和其他系統。
