飛納電子顯微鏡通過電子束照射樣品，利用電子與樣品中的原子相互作用產生的散射來形成圖像。電子束通過電磁透鏡聚焦，這些透鏡由電子槍產生，并通過調節電流大小來控制焦距。由于電子束的波長遠短于可見光，分辨率能夠達到納米級別甚至更高。透射(TEM)和掃描(SEM)是兩種主要類型。
飛納電子顯微鏡用于聚焦電子束，從而在樣品處形成一個細小的光斑。電磁透鏡通過調節磁場強度來改變電子的路徑，使電子束在樣品表面上形成清晰的圖像。與傳統光學透鏡不同，電磁透鏡不會受到色差的限制，因此可以獲得更高的分辨率。電磁透鏡通常由包著線圈的軟鐵鎧裝組成，這些線圈產生軸對稱的磁場，使電子束在中心孔中聚焦。
飛納電子顯微鏡的維護保養方法：
1.安全操作
-電源與連接：在使用前，確保所有連接線都已經插好，并檢查電源是否正常。
-環境控制：保持電鏡室潔凈，室內溫度控制在20±5℃，濕度在65%以下。
-個人防護：穿戴適當的實驗室衣物、防護眼鏡和手套，確保個人安全。
2.日常維護
-清潔鏡頭表面：定期使用干凈、柔軟的鏡頭紙輕輕擦拭鏡頭表面，避免使用有化學殘留物的清潔劑。
-冷阱管理：每天開機前檢查冷阱是否已清空，并定期更換吸附劑。
-真空泵油位：每周檢查真空泵油的級別，并根據需要及時添加或更換。
-圖像系統校準：定期校準顯微鏡的圖像系統，以確保成像的準確性和穩定性。
-樣本處理：處理樣本前，確保顯微鏡處于適當的真空狀態，使用工具將樣品表面清潔干凈，避免直接觸碰樣品持有器或帶電部件。
3.長期保養
-定期檢查：定期檢查顯微鏡的各個部件，包括平臺的橫向和縱向調節螺絲、照明系統開關和調節按鈕等，發現阻力或損壞應及時修理或更換。
-潤滑維護：對移動部分進行定期潤滑，確保緩慢而平穩的運動。
-鏡片誤差校正：定期校準顯微鏡鏡片的誤差，防止因鏡片誤差影響成像質量。
-真空系統維護：定期更換機械泵油，清洗擴散泵油，確保真空系統的穩定運行。
-電鏡功能檢測：定期開啟電鏡各功能部分，每次時間不應小于1小時，防止電氣元件老化。
-X射線泄漏檢測：定期檢測電鏡X射線的泄漏情況，確保操作人員的安全。
