激光共聚焦顯微鏡和掃描電鏡的區別
更新時間：2016-06-06 點擊量：6322
激光共聚焦顯微鏡和掃描電鏡的區別
激光共聚焦顯微鏡和掃描電鏡都是點源逐點掃描成像，通過控制掃描驅動范圍，調節放大倍數。激光共聚焦顯微鏡是通過激光掃描的方式工作，可以獲得三維圖像。掃描電鏡是利用細聚焦電子束在樣品表面掃描時激發出來的各種物理信號來調制成像的，只能得到二維圖像，不能得到三維圖像。
1、極限分辨率不同（放大信號源不同）
激光共聚焦：極限分辨率 150nm
掃描電鏡：20nm~0.8nm
2、掃描驅動方式不同
激光共聚焦：激光轉鏡控制激光掃描范圍和掃描速度
掃描電鏡：電磁線圈控制電子束掃描范圍和掃描速度
3、立體成像不同
激光共聚焦：通過納米精度步進電機驅動樣品在Z軸方向逐層成像，軟件將設定的各層圖像合成清晰三維立體圖像
掃描電鏡： 單幀圖像具有很大景深，屬于二維圖像
4、應用范圍不同
激光共聚焦：幾倍~ 幾千倍
掃描電鏡 ：幾倍~幾十萬倍
5、工作環境不同
激光共聚焦：可在大氣環境中測試樣品
掃描電鏡：在高真空環境下測試樣品
